Indukcyjny system pomiarowy do kontroli przemieszczenia z nanometrową rozdzielczością
Indukcyjny system pomiarowy SMT 9700 firmy Kaman zapewnia informację zwrotną o położeniu/przemieszczeniu praktycznie każdego obiektu przewodzącego prąd elektryczny. Ze względu na bardzo dużą dokładność i rozdzielczość jego zakres zastosowań obejmuje pozycjonowanie optyki w sprzęcie fotolitograficznym, pozycjonowanie stolików XYZ w mikroskopii sił atomowych oraz pozycjonowanie wrzecion w precyzyjnym szlifowaniu łożysk.
SMT 9700 wykorzystuje sprawdzoną technologię czujników prądów wirowych i zapewnia nanometrową rozdzielczość przy małych gabarytach. Jest dostępny z 13 standardowymi wersjami czujników o zakresie pomiarowym od 0,5 mm (model 2U) do 15,0 mm (model 51U). Umożliwia również użytkownikom dostosowanie długości kabla, zakresu kalibracji i przesunięcia, a także szerokości pasma i temperatury w zależności od tego, który parametr jest kluczowy w danym zastosowaniu. Występuje w konfiguracji 1-, 2- i 3-kanałowej. W przypadku tej ostatniej wszystkie kanały mogą pracować na tej samej częstotliwości i być strojone jednocześnie, co zmniejsza koszty montażu i pozwala zaoszczędzić przestrzeń instalacyjną.