Nowy czujnik siły rodziny SlimLine do monitorowania produkcji półprzewodników

Do rodziny piezoelektrycznych czujników siły SlimLine firmy Kistler dołącza nowy model 9132CD, mogący znaleźć zastosowanie przy monitorowania produkcji półprzewodników. Jest on 9-krotnie bardziej czuły od wcześniejszych wersji. Zawiera elastyczny i trwały kabel połączeniowy, pozwalający na zastosowania w urządzeniach o małej dostępnej przestrzeni montażowej, przeznaczonych do pomiaru małych sił.

Dwie unikalne cechy nowego czujnika 9132CD SlimLine, a mianowicie materiał piezoelektryczny i elastyczny kabel połączeniowy, spełniają wymagania pomiaru siły w złożonych procesach produkcyjnych. Materiałem piezoelektrycznym jest specjalny kryształ, opracowany i wyhodowany przez firmę Kistler. Podobnie, jak w przypadku tradycyjnego materiału kwarcowego, jego sztywność sprawia, że ​​jest on bardzo wrażliwy na szybkie zmiany siły, natomiast wykazuje 9-krotnie większą czułość od obecnych czujników SlimLine. Dzięki temu może mierzyć nawet najmniejsze, szybkie zmiany siły z bardzo dużą dokładnością.

Czujnik jest tak dobry, jak jego kabel połączeniowy. W wymagających środowiskach produkcyjnych kabel może być bardzo obciążony i stać się istotnym czynnikiem ograniczającym szybkość produkcji. Dzieje się tak, gdy czujnik zostanie umieszczony, np. w szybko poruszającej się stacji pick and place o bardzo krótkich czasach cykli. Zerwanie kabla wiąże się z zatrzymaniem produkcji i koniecznością przeprowadzenia prac serwisowych. W modelu 9132CD zastosowano kabel o bardzo dużej elastyczności, mogący wytrzymać co najmniej 10 milionów cykli przy promieniu gięcia 30 mm.

Ważniejsze parametry:

• zakres pomiarowy: 2,7 kN,
• czułość: 35 pC/N,
• czułość termiczna: 4% (-40...+80°C),
• nieliniowość (z histerezą): ±1% FS,
• powtarzalność: 0,06%,
• min. promień gięcia (statyczny/dynamiczny): 8/30 mm,
• stopień ochrony: IP65,
• zakres temperatury pracy: -40...+80°C.