Różnicowe czujniki ultra niskich ciśnień o zakresie pomiarowym 25Pa

Różnicowe czujniki ciśnienia LBA firmy Sensortechnics bazują na pomiarze termicznego przepływu masy przez wąski kanalik zintegrowany wewnątrz struktury krzemowej. Obok dostępnych już wersji o zakresie pomiarowym 250 i 500Pa obecnie oferowane są czujniki o zakresach wynoszących już od 25Pa.

Charakteryzują się bardzo dużą rozdzielczością i stabilnością offsetu. Zawierają kompletny blok kondycjonowania sygnałów wykonany w technologii CMOS, zapewniający liniową charakterystykę i kompensację termiczną.

Dzięki zintegrowaniu mikro-kanału w strukturze krzemowej uzyskano przepływ gazu mniejszy o kilka rzędów wielkości niż w przypadku konwencjonalnych czujników ciśnienia bazujących na pomiarze przepływu. Zapewnia to odporność na zanieczyszczenia gazu i kondensację wilgoci oraz eliminuje konieczność kalibracji czujnika i korekcji sygnału wyjściowego przy podłączaniu wejściowych filtrów.