Moduł liniowy XY o rozdzielczości 1 nm z łożyskami powietrznymi

A-322 PIglide, kolejny liniowy moduł XY z oferty firmy Physik Instrumente zawiera łożyska powietrzne nie wykazujące tarcia. Zapewnia on szybkość przesuwu do 1000 mm/s i pozwala uzyskać rozdzielczość na poziomie 1 nm. Parametry te są wystarczające do zastosowań np. w systemach inspekcyjnych pracujących w strefach czystych, wymagających dużej precyzji przy równocześnie dużej przepustowości.

Przykładem może być inspekcja paneli fotowoltaicznych i płytek krzemowych. A-322 PIglide może być wyposażony w 3 precyzyjne enkodery liniowe, inkrementalne lub absolutne: jeden dla osi dolnej (mostu) i dwa dla osi górnej (wsporników).

Dzięki zastosowaniu nieżelaznych silników liniowych zapewniono płynny ruch głowicy bez momentu zaczepowego ani sił przyciągania.

Ważniejsze dane techniczne:

• maksymalna powierzchnia pracy: 1000 x 500 mm,
• rozdzielczość: 1 nm,
• prędkość: do 1 m/s,
• przyspieszenie: do 1 g,
• płaskość/prostoliniowość powierzchni: 0,25 µm,
• nośność: 15 kg.