Precyzyjny stopień liniowy z łożyskami powietrznymi i silnikami z napędem bezpośrednim
Firma PI wprowadza na rynek stopień liniowy XY-Theta-Z z łożyskami powietrznymi i silnikami z napędem bezpośrednim, przeznaczony do precyzyjnego pozycjonowania w przemyśle półprzewodnikowym i fotonice. Ze względu na bezkontaktową pracę, a co za tym idzie, brak środków smarujących, nadaje się one idealnie do zastosowań w pomieszczeniach czystych (clean room).
W odróżnieniu od tradycyjnych stopni wieloosiowych, model A-361 zawiera tylko jedną platformę ruchomą, dzieloną między 3 osie. Do jego zalet należy zaliczyć dużą precyzję i brak potrzeby serwisowania, ze względu na brak tarcia oraz niskoprofilową konstrukcję (40 mm), pomimo zintegrowanego chwytaka próżniowego. W aplikacjach wymagających pracy 6-osiowej, model A-361 może być zintegrowany z dodatkowym stopniem liniowym Z Tip/Tilt o oznaczeniu A-523. Nawet w takim przypadku, całkowita wysokość mechanizmu nie przekracza 100 mm. A-523 umożliwia ruch w osi Z w zakresie ±2,5 mm oraz przechylanie w osi X i Y pod kątem do ±1°. Jego maksymalne obciążenie wynosi 8 kg.
A-361 charakteryzuje się zakresem przemieszczenia ±2,5 mm w osi X i Y, średnicą platformy ruchomej równą 200 mm i obciążalnością do 3 kg. Jego dokładność przy przemieszczeniu poziomym wynosi ±0,2 µm w osi X i Y.
