Wśród urządzeń automatyki, będących częścią linii produkcyjnych w przemyśle elektronicznym, wymienić należy różnego typu maszyny specjalistyczne oraz roboty przemysłowe, w tym roboty współpracujące. Jeżeli chodzi o te pierwsze, to wiele maszyn tego typu jest wykorzystywanych na etapie wytwarzania struktur układów scalonych. Przykładami są automaty do rozcinania płytek krzemowych oraz zautomatyzowane systemy ich inspekcji.
CIĘCIE PŁYTEK KRZEMOWYCH TO ZŁOŻONY PROCES
Układy scalone ze względu na stopień skomplikowania i miniaturyzacji ich struktur wytwarzane są zbiorczo na płytkach krzemowych. Odbywa się to w ramach wieloetapowego procesu, w którym kolejne warstwy powstają przez wielokrotne powtarzanie operacji takich jak m.in.: domieszkowanie półprzewodnika, fotolitografia, trawienie. Następnie poszczególne układy są wyodrębniane z płytek przez rozcinanie wzdłuż ich krawędzi.
Jakość wykonania tego zadania w ogromnym stopniu wpływa na jakość gotowych podzespołów. Ze względu na specyfikę podłoży, które są ekstremalnie cienkie, mają coraz większą powierzchnię i dużą gęstość upakowania scalonych struktur, dochowanie najwyższych standardów w tym zakresie nie jest łatwe. Wymaga to bowiem uzyskania kompromisu między dokładnością i powtarzalnością pozycjonowania cięć, stratami materiału, zniekształceniami krawędzi a szybkością i wydajnością cięcia.
